富士胶片开始销售用于半导体EUV光刻的材料

2024-10-29 原文 #日本経済新聞 的其它文章

富士胶片开始销售用于半导体EUV光刻的材料 ——

  日本富士胶片10月29日发布消息称,已开始销售用于生产最先进半导体的材料。这些材料为光刻胶和显影液,用于在硅晶圆上绘制精细电路的工序。预计面向人工智能(AI)及5G半导体的需求将会增加。

 

  

  随着这些材料的上市,富士胶片将在日本和韩国的现有工厂扩充设备。引入生产设备和用于质量评估的检测装置,还将在韩国新设洁净室。富士胶片并未公布产能和投资额。预定于2025年10月投产。

  

  富士胶片开始销售的是用于最先进半导体制造工艺极紫外(EUV)光刻设备的材料。用于在硅晶圆上绘制线宽在10纳米以下的精细电路。预计还会支持线宽为1纳米多的新一代半导体。

  

  富士胶片正在对半导体材料进行投资。该公司9月底发布消息称,将向日本国内包括静冈县在内的两座半导体材料工厂总共投资约200亿日元,并于2025年~2026年启用两栋新厂房。

 

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